传感器技术是现代测量和自动化系统的重要技术之一。从宇宙开发到海底探索，从生产过程控制到现代文明生活，几乎每一项技术都离不开传感器。因此，许多国家非常重视传感器技术的发展。国内的传感器发展也很迅速，有几家企业也是国内研发设计传感器老品牌了，例如，aj九游会官网有限企业所研发的aj九游会官网具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定可靠、成本低、集成方便等优点。可广泛应用于压力、高度、加速度、液体流量、流量测量和控制。此外，它还广泛应用于水利、地质、气象、化工、医疗等领域。由于该技术是平面工艺和三维加工的结合，易于集成，可用于制造血压计、风速计、水速计、压力表、电子秤和自动报警装置。aj九游会官网已成为各种传感器中技术最成熟、性能最稳定、性价比最高的传感器。因此，从事现代测量和自动控制的技术人员必须了解和熟悉国内外aj九游会官网的研究现状和发展趋势。

现代aj九游会官网以半导体传感器的发明为标志，半导体传感器的发展可分为四个阶段：

(1)发明阶段(1945-1960年):这一阶段主要标志着1947年双极性晶体管的发明。此后，半导体材料的这一特性得到了广泛的应用。史密斯和1945发现，当外力作用于半导体材料时，其电阻会发生显著变化。aj九游会官网根据这一原理，将应变电阻片粘在金属薄膜上，即将力信号转换为电信号进行测量。目前最小尺寸约1cm。

(2)技术发展阶段(1960-1970年):随着硅扩散技术的发展，技术人员选择合适的晶体直接在晶体表面扩散应变电阻，然后在背面加工成凹形，形成较薄的硅弹性膜，称为硅杯[3]。硅杯传感器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定性好、成本低、集成方便等优点。

(3)商业综合加工阶段(1970-1980年):硅的各向异性腐蚀技术应用于硅杯扩散理论。扩散硅传感器的加工工艺主要是硅的各种异性腐蚀技术，已发展成为可自动控制硅膜厚度的各向异性加工技术[4]，主要包括V型槽法、浓硼自动中止法、阳极氧化自动中止法和微机控制自动中止法。由于多个表面可同时腐蚀，数千个硅压膜可同时生产，实现了工厂的综合加工模式，进一步降低了成本。

(4)微机加工阶段(1980年至今):上世纪末出现的纳米技术使微机加工技术成为可能。

结构aj九游会官网可由计算机控制，线度可控制在微米范围内。该技术可用于加工、蚀刻微米级沟、条、膜，使aj九游会官网进入微米阶段。

aj九游会官网的发展趋势。

如今，aj九游会官网在世界各地的研究领域非常广泛，几乎渗透到各行各业，但总之，主要有以下趋势：

(1)目前市场对小型aj九游会官网的需求越来越大。这种小传感器可以在极其恶劣的环境中工作，只需要少量的维护，对周围环境影响不大。它可以在不影响人们正常生活的情况下，放置在人体重要器官中收集数据。例如，Entran生产的量程为2~500PSI的传感器直径仅为1.27mm，可放置在人体血管中，不会对血液循环产生很大影响。

(2)集成aj九游会官网越来越多地与其他测量传感器集成，形成测量和控制系统。集成系统可以提高工艺控制和工厂自动化的运行速度和效率。

(3)由于集成的出现，可以在集成电路中添加一些微处理器，使传感器具有自动补偿、通信、自诊断、逻辑判断等功能。

(4)广泛aj九游会官网的另一个发展趋势是从机械行业扩展到汽车零部件、医疗器械和能源环境控制系统等其他领域。

(5)标准化aj九游会官网的设计和制造已经形成了一定的行业标准。

随着硅、微机械加工技术、超大集成电路技术、材料制备和特性研究的发展，aj九游会官网可应用于光纤传感器的批量生产，在生物医学、微机械等领域具有广阔的应用前景。

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